项目名称 真空镀膜机 项目编号 XJ2025000073 公告开始日期 2025-07-30 17:10:02 公告截止日期 2025-07-31 18:00:00 采购单位 南开大学 付款方式 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 按照合同约定执行 预算总价

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NaN 未公布 发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 南开大学八里台校区 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 公告说明 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-07-31 18:00

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计量单位



所属分类

真空镀膜机 1 台 无 无 品牌 品牌1 无 型号 无 品牌2 型号 品牌3 型号 品牌4 型号 品牌5 型号 品牌6 型号 预算单价 ￥ NaN 技术参数及配置要求 （一）技术要求镀膜设备由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架，电控系统，手套箱系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。1.真空室腔体：1套 1) 外形：优质304不锈钢方形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸400*360*520mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配DN100视窗1套； 2) 底部：金属源接口2套，美国MCVAC水冷膜厚探头接口1套,CF25照明接口2套； 3) 顶部：样品台接口1套，气动挡板接口2套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套； 4) 侧壁：JTFB-650Z水冷脂润滑分子泵接口1套，JCDQ-J40B-CF高真空气动挡板阀接口1套，预留法兰若干； 5) 腔体漏率：整体漏率优于5×10-8Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。2、蒸发源系统：1套 1) 金属源2套：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，直流电源1台，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，蒸发电源还可以通过310膜厚仪PID（闭环控制），可单通道自动调节蒸发速率；2) 隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。3、样品台系统：1套 1) 基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2) 基片升降：衬底与蒸发源间距240-340mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调；3) 基片挂架：可放置6英寸基片1片；4) 基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。4、真空泵机组：1套 1) VRD-30双级泵1台；2) DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；3) KF40泵阀连接软管1套；4) GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；5) JTFB-650Z水冷脂润滑分子泵1台；6) CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台；7) CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；8) GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；9) ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-8Pa）5、膜厚检测系统：1套 1) 膜厚仪：采用SQC310石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：2通道；显示以及控制精度：0.01？/秒，频率分辨率0.01Hz，带有PID环功能，可通过膜厚仪单通道自动控制蒸镀速率；2) 膜厚探头：美国MCVAC进口水冷膜厚探头1套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。6、设备机架：1套 1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；2) 3英寸万向轮4件，移动调整；3) M16地脚4件，锁紧定位。7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置） 1) 烘烤照明电源：1台；2) 总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。8、其他技术参数： 1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2) 供电：～220V单相供电系统（峰值3KW）；3) 供水：循环制冷水机，冷却水温度17℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于35分，充干燥氮气。（二）服务要求1) 提供1年的免费保修。2) 提供现场技术培训。 参考链接 售后服务 按国家法定或行业要求提供售后服务。 南开大学 2025-07-30 17:10:02