| 一、项目基本情况 |
| 1、原公告的采购项目编号：豫财招标采购-2020-1539 |
| 2、原公告的采购项目名称：郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目 |
| 3、首次公告日期及：2020年12月24日、《河南省政府采购网》《河南省公共资源交易中心网》 |
| 4、原投标截止时间(投标文件递交截止时间)：2021年01月14日09时00分（北京时间） |
| 二、更正信息 |
1、更正事项：
采购文件
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| 2、原文件获取时间：2020年12月25日 - 2020年12月31日23时59分（北京时间） |
| 文件获取截至时间变更为：2020年12月31日23时59分（北京时间） |
| 3、原开标时间：2021年01月14日09时00分（北京时间） |
| 开标时间变更为：2021年01月26日09时00分（北京时间） |
| 4、原采购信息内容 |
1.最高限价：600万元
2.开标时间：2021年01月14日09时00分（北京时间）
投标截止时间：2021年01月14日09时00分（北京时间）
开标地点：河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-4
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 5套
第四章 项目需求及技术参数要求
3.1 配有4条气路，每条气路含有一个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气1000 sccm、氧气20 sccm、甲烷100 sccm、氮气2 sccm；
5.1 旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；
5.2 极限真空：0.1 Pa；
★ 5.3 真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.
注：投标人提供微波源品牌。 |
| 变更为 |
1.最高限价： 400万元
2.开标时间：2021年01月26日09时00分（北京时间）
投标截止时间：2021年01月26日09时00分（北京时间）
开标地点：河南省公共资源交易中心远程第5开标室
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套
第四章 项目需求及技术参数要求
3.1 配有5条气路，每条气路含有一个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气1000 sccm、氧气20 sccm、甲烷100 sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；
★ 5.1 采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤240 L/s。
5.2 从大气压抽到6×10-7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2×10-7 mbar。
5.3 真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.
注：投标人提供微波源及分子泵品牌。 |
| 5、更正日期：2021年01月08日16时04分 |
| 三、其他补充事宜 |
| 上述变更内容，招标文件涉及处均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！ |
| 四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系 |
| 1. 采购人信息 |
| 名称：郑州大学 |
| 地址：郑州市高新技术产业开发区科学大道100号 |
| 联系人：杨老师 |
| 联系方式：0371-61656113 |
| 2.采购代理机构信息（如有） |
| 名称：河南正霖招标代理有限公司 |
| 地址：郑州市高新区翠竹街总部企业基地121号楼5 |
| 联系人：何女士 |
| 联系方式：0371-66851771 |
| 3.项目联系方式 |
| 项目联系人：何女士 |
| 联系方式：0371-66851771 |
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